LN Mini Unit 由LN單元(yuan)MRE、MLE和B2MS組(zu)成。LNscope和附件組(zu)成了該系統。單(dan)獨的(de)LN Mini Unit 安(an)裝在不(bu)銹鋼柱(zhu)子的(de)頂部,帶有旋轉(zhuan)適配器(qi),便(bian)于(yu)接(jie)觸到電極。
LN unit consists由三個Mini軸組(zu)成,使用適配器固定,形成一個完(wan)整的裝(zhuang)(zhuang)置。該裝(zhuang)(zhuang)置的設計結合了靈活(huo)性(xing)、穩定性(xing)、高分辨率和無漂移的體(ti)驗。
X軸的貼(tie)片角度可以連(lian)續調整。所有的機(ji)械(xie)部(bu)件都配(pei)備了接地(di)點。該(gai)裝置可使用轉彎適配(pei)器(qi)、背折適配(pei)器(qi)或快速交換系統。
這(zhe)種精確而可(ke)靠的(de)機械手發明于1993年,由于我(wo)們的(de)服務(wu)政策,第一(yi)代系(xi)統仍然在(zai)世界各地(di)的(de)實驗室中(zhong)使(shi)用。在(zai)光學系(xi)統周圍最多可(ke)以安裝(zhuang)8個機械手。
規格:
XYZ方向行(xing)程:25nm
電機分辨率:4.8nm
重現性:小于1微米
重(zhong)量(整機):2.2公斤
主軸導程:0.5 mm
最小可(ke)重(zhong)現步長:20nm
新的Mini有修(xiu)改過的Mini Compact Y軸和(he)Z軸,移動范圍為25毫米(mi)。這不(bu)僅增加了堅(jian)固性(xing),而且由于增加了兩(liang)個T型槽而增加了靈活性(xing)。